Компоненты Микросистемной Техники. Часть 1
Коноплёв Б.Г., Лысенко Е.И.
Таганрог, ТГТУ, 2009, 120 стр. В учебном пособии рассмотрены основные вопросы, затрагиваемые дисциплины «Компоненты микросистемной техники»: элементы и компоненты микросистем (MEMS. MEOMS), базовых физических принципах их функционирования, характеристиках, конструкциях и особенностях применения.
Книга адресована аспирантам и студентам вузов, специализирующихся в области проектирования элементной базы микросистемной техники.
Книга адресована аспирантам и студентам вузов, специализирующихся в области проектирования элементной базы микросистемной техники.
ენა:
russian
ფაილი:
PDF, 3.75 MB
IPFS:
,
russian0